真空紫外光譜儀依托Seya-Namioka精密光路結構，入射狹縫和CCD探測器均位于羅蘭圓上，支持單色模式與光譜模式靈活切換，可滿足多場景精密光譜分析需求。其中，NIM型真空紫外光譜儀，廣泛應用于大科學裝置、半導體極紫外光源與探測器研究、空間與防務等領域。
該光譜儀具備多重核心產品特點，適配專業(yè)分析場景：波長范圍較寬，可覆蓋多樣檢測需求；配備在線精密可調狹縫，保障檢測精度；支持空間維聚焦擴展，適配復雜測試場景；可提供系統(tǒng)集成服務，貼合個性化應用需求；整體結構緊湊、集成度高，節(jié)省安裝空間；同時具備高真空兼容性，適配特殊工況檢測。
設備核心參數精準可控，支撐高效檢測：光柵采用球面光柵，波長范圍覆蓋80nm~200nm；光譜分辨率在167nm處可達0.16nm，波長精度可根據實際需求定制設計；搭載科研級相機作為探測器，檢測性能穩(wěn)定；狹縫寬度支持0.01~3mm在線連續(xù)可調，進一步提升檢測靈活性與精準度。
更新時間：2026-02-06
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